Förderung

1,3 Millionen Euro für Sanierungsmaßnahmen beim Institut für Mikroelektronik

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Testraum für Mikroelektronik (Bild: © IMS, Institut für Mikroelektronik Stuttgart)

Das Land fördert die Fortsetzung der Sanierung des alten Reinraumes des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart mit 1,3 Millionen Euro. Die im Reinraum aufgestellte Geräteinfrastruktur benötigt neben einer hohen Reinheit auch eine hohe Konstanz an Parametern wie Luftfeuchte oder Temperatur. Mit der Sanierung kann die notwendige Prozesssicherheit gewährleistet werden.

Das Wirtschaftsministerium fördert die Fortsetzung der Sanierung des alten Reinraumes des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) mit 1,3 Millionen Euro. Dies gab Ministerin Nicole Hoffmeister-Kraut bekannt.

„Mit seiner herausragenden Kompetenz in der Nano- und Mikroelektronik hat das IMS CHIPS ein landesweit einzigartiges Technologieangebot für die Herstellung von intelligenten Mikrochips und -systemen der Zukunft. Weil vor allem die kleinen und mittleren Unternehmen häufig wegen der hohen technologischen Anforderungen keine eigenen Forschungs- und Entwicklungskapazitäten aufbauen können, benötigen sie zuverlässige Partner wie das IMS CHIPS“, sagte Hoffmeister-Kraut. Eine funktionierende technische Infrastruktur auf dem neuesten Stand ist hierfür unabdingbare Voraussetzung.

Mit der Sanierung des noch aus den Anfängen des Instituts in den 1980er Jahren stammenden Reinraumes wurde bereits im Jahr 2015 begonnen. Aktuell steht mit der Sanierung der Bestandssteuerung im anlagenübergreifenden Prozessleitsystem der dritte Sanierungsabschnitt an. Die im Reinraum aufgestellte Geräteinfrastruktur benötigt neben einer hohen Reinheit auch eine hohe Konstanz an Parametern wie Luftfeuchte oder Temperatur, wozu die bisherige, über 30 Jahre alte Steuerung nicht mehr die notwendige Prozesssicherheit gewährleisten konnte.

Weitere Informationen

Das IMS CHIPS ist eines von 13 Instituten der Innovationsallianz Baden-Württemberg (InnBW). Die Stuttgarter Forscherinnen und Forscher unterstützen zahlreiche Industrieunternehmen – insbesondere kleine und mittlere Unternehmen – mit technologischen Lösungen aus den Bereichen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik, Nanostrukturierung sowie anwendungsspezifischer Schaltkreise und bildgebender Sensorik.

Bei der Erforschung und Entwicklung neuer Verfahren zur Herstellung von Mikrochips und Nanostrukturen hat das IMS CHIPS eine führende Position. Damit leistet das Institut einen wichtigen Beitrag zur Umsetzung von Ergebnissen und Technologien aus Forschung und Entwicklung in die industrielle Praxis. Diese Technologien haben eine weitreichende Bedeutung für Anwendungen in den Schlüsselbranchen des Landes, wie beispielsweise die Elektronik- und Elektrotechnikindustrie, den Fahrzeug-, Maschinen- und Anlagenbau, die Informations-und Kommunikationstechnik oder die Medizintechnik.

Innovationsallianz Baden-Württemberg

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